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半导体封装工艺和互连技术是半导体制造后端的关键环节,直接影响芯片的电气性能、热管理及可靠性。以下是主要封装工艺类型及互连技术的详细介绍:
引线框架封装:通过金属引线(如金、铝)连接芯片焊盘与引线框架,适用于低密度、低成本场景。
基板封装:使用多层有机/陶瓷基板实现高密度布线,支持BGA、QFN等高引脚数封装,适用于高性能芯片。
双列直插式封装(DIP):早期插装型封装,结构简单但引脚数有限。
球栅阵列封装(BGA):底部排列锡球,支持高密度I/O,适用于复杂系统芯片。
晶圆级封装(WLP):
扇入型WLCSP:在芯片区域内布线,无需基板,成本低,适用于CIS、射频芯片。
扇出型WLP(FOWLP):将芯片嵌入模塑料中,通过RDL扩展焊盘至更大区域,支持更多I/O,典型应用为5G射频模块。
系统级封装(SiP):集成多种功能芯片(如逻辑、存储、射频)于同一封装,实现异构集成。
3D封装:
硅通孔(TSV):垂直互连通道,支持芯片堆叠,适用于高带宽存储(HBM)。
混合键合:直接铜-铜键合,无需凸点,提升密度,用于2.5D/3D堆叠。
原理:通过金属线(金、铜、铝)连接芯片焊盘与基板,利用热压、超声波或热超声波实现键合。
类型:
金线:高导电性、抗腐蚀,但成本高。
铜线:低成本、高强度,但需防氧化处理。
铝线:成本低,但导电性较差,用于低端封装。
优缺点:设备成本低、工艺成熟,但I/O密度受限。
原理:芯片正面朝下,通过凸点(焊料、铜柱)直接焊接至基板,缩短信号路径。
凸点类型:
焊料凸点(Sn-Ag-Cu):成本低,需高温回流。
铜柱凸点:高频性能优,用于高密度互连。
工艺步骤:凸点制备→倒装对准→回流焊接→模塑封装。
优势:低电阻、高可靠性,适用于高性能计算。
重分布层(RDL):在芯片表面重新布线,扩展焊盘位置,支持WLP和TSV。
硅通孔(TSV):垂直互连通道,通过刻蚀、电镀铜填充实现3D堆叠,适用于高带宽存储。
混合键合:直接原子级键合,无需凸点,支持更小线宽,用于先进3D封装。
载带自动焊(TAB):柔性载带一次性连接多引脚,提升效率,但设备成本高。
扇出型面板级封装(FOPLP):在面板上实现大尺寸扇出,降低成本,适用于移动设备。
异质集成:整合不同工艺节点的芯片(如逻辑+存储),提升系统性能。
混合键合:替代传统凸点,实现更高密度互连。
TSV与3D封装:解决摩尔定律瓶颈,支持AI、HPC等高算力需求。
材料创新:低CTE(热膨胀系数)基板、高导热封装材料优化热管理。
半导体封装工艺从传统引线键合向先进封装(如倒装、TSV、3D堆叠)演进,互连技术的创新是实现高密度、高性能的关键。未来,异质集成与混合键合将进一步推动封装技术突破物理极限,满足AI、5G等新兴应用需求。
封装芯片清洗剂选择:
水基清洗的工艺和设备配置选择对清洗精密器件尤其重要,一旦选定,就会作为一个长期的使用和运行方式。水基清洗剂必须满足清洗、漂洗、干燥的全工艺流程。
污染物有多种,可归纳为离子型和非离子型两大类。离子型污染物接触到环境中的湿气,通电后发生电化学迁移,形成树枝状结构体,造成低电阻通路,破坏了电路板功能。非离子型污染物可穿透PC B 的绝缘层,在PCB板表层下生长枝晶。除了离子型和非离子型污染物,还有粒状污染物,例如焊料球、焊料槽内的浮点、灰尘、尘埃等,这些污染物会导致焊点质量降低、焊接时焊点拉尖、产生气孔、短路等等多种不良现象。
这么多污染物,到底哪些才是最备受关注的呢?助焊剂或锡膏普遍应用于回流焊和波峰焊工艺中,它们主要由溶剂、润湿剂、树脂、缓蚀剂和活化剂等多种成分,焊后必然存在热改性生成物,这些物质在所有污染物中的占据主导,从产品失效情况来而言,焊后残余物是影响产品质量最主要的影响因素,离子型残留物易引起电迁移使绝缘电阻下降,松香树脂残留物易吸附灰尘或杂质引发接触电阻增大,严重者导致开路失效,因此焊后必须进行严格的清洗,才能保障电路板的质量。
研发的水基清洗剂配合合适的清洗工艺能为芯片封装前提供洁净的界面条件。
运用自身原创的产品技术,满足芯片封装工艺制程清洗的高难度技术要求,打破国外厂商在行业中的垄断地位,为芯片封装材料全面国产自主提供强有力的支持。
推荐使用 水基清洗剂产品。