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关于芯片制造中封装技术从传统封装到晶圆级封装(WLP)发展晋级阶段的详细阐述。
封装技术的发展史,本质上是一部追求 “更小、更薄、更轻、更快、更省、更可靠” 的历史。它从保护芯片、连接内外世界的简单角色,演进成为提升整个系统性能的关键赋能技术。
整个发展路程可以清晰地分为四个主要阶段,其核心演进方向如下图所示:
时间: 20世纪70-80年代
代表技术: 双列直插封装 (DIP - Dual In-line Package)
特点:
工艺: 封装厂将测试好的晶圆进行“划片”(Dicing),分割成单个芯片(Die)。然后将芯片粘结在引线框架(Lead Frame)上,利用细金属线(金线)进行“键合”(Wire Bonding)连接芯片焊盘和引线框架的引脚,最后用塑料或陶瓷材料封装成型。
安装方式: 通孔插装(Through-hole technology),将封装好的芯片引脚插入印刷电路板(PCB)的通孔中再进行焊接。
局限性:
体积庞大:封装尺寸远大于芯片本身,严重浪费空间。
效率低下:引脚数(Pin Count)受限,难以满足复杂芯片的需求。
电性能差:引线较长,产生较大的寄生电感和电阻,影响信号传输速度和完整性,不适合高频应用。
时间: 20世纪80-90年代
代表技术: 小外形封装 (SOP)、四面扁平封装 (QFP - Quad Flat Package)
特点:
工艺: 仍然主要采用“引线框架 + 键合线”的结构,但引脚从两侧发展到四侧,引脚间距(Pitch)更小。
安装方式: 表面贴装(Surface-mount technology,SMT),引脚直接焊接在PCB表面,无需打孔。
晋级:
体积缩小:封装体积和厚度相比DIP显著减小。
密度提升:引脚数量增加,适应了更复杂芯片(如MCU、早期CPU)的需求。
局限性:
键合线瓶颈:当引脚数进一步增加时,引脚间距已接近工艺极限,易导致焊接短路。
电热性能:键合线的寄生效应仍然是高频性能的瓶颈,散热能力有限。
时间: 20世纪90年代
代表技术:
特点: 定义是封装面积不超过芯片面积的1.2倍。CSP是一种概念,而非单一技术,它可以通过多种方式实现(如引线框架型、柔性基板型等)。
晋级: 实现了封装尺寸的极致小型化,是迈向晶圆级封装(WLP) 的关键过渡。
特点: 将封装引脚从封装体四周改为以阵列形式排布在封装底部的焊球。这些焊球既是电气连接点,也是机械连接点。
晋级:
局限性: 封装尺寸仍然大于芯片本身。
密度飞跃:极大地增加了I/O数量,解决了多引脚芯片的封装难题。
电性能提升:焊点路径短,减少了引线电感和电容,改善了高频性能。
散热更好:芯片背面往往可接触散热器,热管理能力增强。
球栅阵列封装 (BGA - Ball Grid Array)
芯片级封装 (CSP - Chip Scale Package)
时间: 20世纪90年代末至今
核心革命:晶圆级封装 (WLP - Wafer-Level Package)
理念颠覆: 将封装工艺从“单个芯片”层面提前到“整个晶圆”层面完成。在划片之前,直接在晶圆上对所有芯片同时进行再布线(RDL)、凸点制作(Bumping)等封装步骤。完成后,再进行测试和划片。
代表技术:
特点: 突破了芯片面积的限制。通过将芯片嵌入到环氧树脂模塑料(Molding Compound)中,形成一个“重构晶圆”(Reconstituted Wafer)。然后在芯片本体之外的区域进行再布线,将I/O“扇出”到更大的区域。
晋级:
应用: 苹果/高通/海思等旗舰手机处理器、5G毫米波天线模块、高端AI加速器等。
I/O密度更高:可以容纳比Fan-In WLP多得多的I/O数量。
集成度更高:可以在重构晶圆上集成多个不同工艺、不同功能的芯片(如处理器、内存、射频芯片),实现系统级封装(SiP) 和异质集成。
性能更优:互连路径极短,提供了最优的电性能和热性能。
特点: 所有I/O焊球都分布在芯片内部的区域。是最基本、最经济的WLP形式。
优点: 尺寸最小(等于芯片本身),成本低,电性能极佳。
应用: 广泛用于I/O数量较少的芯片,如电源管理IC、射频芯片、手机中的各种传感器等。
扇入型晶圆级封装 (Fan-In WLP)
扇出型晶圆级封装 (Fan-Out WLP) - 当前主流与高地
未来方向:系统级封装 (SiP) 与异构集成 (Heterogeneous Integration)
封装技术的角色已经从“保护芯片”转变为“集成系统”。未来的发展不再是单一技术的竞争,而是融合了Fan-Out WLP、2.5D/3D IC(硅通孔TSV)、嵌入式基板等多项先进技术的平台化竞争,目标是在一个封装体内集成整个电子系统。
特性 | 传统封装 (DIP/QFP) | 先进封装 (BGA/CSP) | 晶圆级封装 (WLP) |
工艺顺序 | 先划片,后封装 | 先划片,后封装 | 先封装,后划片 |
封装尺寸 | 远大于芯片 | 略大于芯片 (~1.2x) | 等于或稍大于芯片 |
I/O密度 | 低 | 中 | 极高 |
电性能 | 差(寄生效应大) | 较好 | 优异(路径最短) |
成本导向 | 封装本身成本 | 封装本身成本 | 整体系统成本/性能比 |
核心功能 | 保护、连接 | 保护、连接、提升密度 | 保护、连接、提升系统性能与集成度 |
结论:
从传统封装到晶圆级封装的发展路程,是一次从 “后端制造” 到 “前道延伸” 的思维转变,是封装从“被动适应”到“主动赋能”的角色蜕变。晶圆级封装,特别是扇出型(Fan-Out)技术,已经成为推动摩尔定律继续前行、实现异质集成和系统级创新的最重要引擎之一。
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水基清洗的工艺和设备配置选择对清洗精密器件尤其重要,一旦选定,就会作为一个长期的使用和运行方式。水基清洗剂必须满足清洗、漂洗、干燥的全工艺流程。
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